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ALD-TGV

玻璃基先進封裝原子層沉積系統(tǒng)



 

 

科民電子專門為玻璃基先進封裝開發(fā)了ALD薄膜沉積系統(tǒng)。系統(tǒng)采用國際先進成熟的設計思想和制造技術,充分考慮玻璃基封裝的材料特性,可用于8英寸晶圓、12英寸晶圓、510mm×515mm玻璃基板TGV工藝。

獲取詳細的系統(tǒng)技術規(guī)格,請與我公司銷售部門聯(lián)系。

關鍵詞: 玻璃基先進封裝原子層沉積系統(tǒng)

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