科民電子研發(fā)的粉末鍍膜系統(tǒng)為三腔結(jié)構(gòu)，真空腔體內(nèi)部放置一個(gè)粉末鍍膜反應(yīng)腔，粉末鍍膜反應(yīng)腔內(nèi)部包含有最多4個(gè)獨(dú)立的樣品倉，可一次沉積4種不同的粉末品。采用精密的反應(yīng)氣場控制，可以同時(shí)在四種不同納米粉末上均勻生長薄膜材料;ALD反應(yīng)所需的前驅(qū)體源通過兩個(gè)獨(dú)立的進(jìn)氣通道進(jìn)入粉末鍍膜反應(yīng)腔，在經(jīng)過樣品倉后通出。氣流帶動粉末在樣品倉內(nèi)進(jìn)行輕微運(yùn)動，使ALD反應(yīng)能在粉末表面順利進(jìn)行。
科民電子粉末鍍膜原子層沉積系統(tǒng)的成功研發(fā)，為催化、環(huán)境、電池材料等領(lǐng)域的用戶提供了可靠的粉體鍍膜方案，為相關(guān)領(lǐng)域用戶取得更多的科研成果及技術(shù)突破提供了新的解決方案。
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關(guān)鍵詞: 粉末型原子層沉積系統(tǒng)
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