L系列是科民電子專門為失效分析開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)。系統(tǒng)具有獨(dú)特設(shè)計(jì)的流場和溫場，能夠在低于前驅(qū)體源加熱溫度的條件下完成ALD工藝。
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關(guān)鍵詞: 失效分析原子層沉積系統(tǒng)
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