中國科學院上海技術(shù)物理研究所、武漢大學研究人員在Advanced Functional Materials上發(fā)表的關(guān)于浮柵結(jié)構(gòu)二維材料光電探測器研究方面取得的進展文章節(jié)選。我們研發(fā)的TALD-200A型原子層沉積系統(tǒng)在該器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作，成功助力該光電探測器的研發(fā)工作。（文章內(nèi)的光電探測器的具有很低的背景載流子強度）
關(guān)鍵詞：
隱藏域元素占位
我司助力中科院上海技物所、武漢大學完成突破性進展！
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中國科學院上海技術(shù)物理研究所、武漢大學研究人員在Advanced Functional Materials上發(fā)表的關(guān)于浮柵結(jié)構(gòu)二維材料光電探測器研究方面取得的進展文章節(jié)選。我們研發(fā)的TALD-200A型原子層沉積系統(tǒng)在該器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作，成功助力該光電探測器的研發(fā)工作。（文章內(nèi)的光電探測器的具有很低的背景載流子強度）
復旦大學成功研發(fā)世界首個半浮柵晶體管（SFGT），結(jié)果發(fā)表在《Science》，并有央視1套節(jié)目報道。我們提供了關(guān)鍵的柵隔離介質(zhì)薄膜制備設(shè)備和工藝方案。
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我司助力復旦大學成功研發(fā)世界首個半浮柵晶體管（SFGT）！
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