PEALD系列原子層沉積系統(tǒng)是專門為先進(jìn)半導(dǎo)體工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)，已在國(guó)內(nèi)高校和科研院所裝機(jī)超百臺(tái)。
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關(guān)鍵詞: 等離子增強(qiáng)型原子層沉積系統(tǒng)
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