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熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進入廈門大學產(chǎn)教融合平臺

科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺

廈門大學國家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺

科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺，助力廈門大學實現(xiàn)集成電路產(chǎn)教融合，培養(yǎng)高端集成電路工程人才。

ALD可更換雙腔結(jié)構(gòu)，勻氣內(nèi)腔，快速反應，反應溫度500℃

PVD無壓環(huán)進口靶腔，自動匹配

曝光機集成度高，365nmLED光源，1μm曝光精度，操作方便

ICP刻蝕機全自動樣品傳輸系統(tǒng)，自動匹配

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