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科民ALD實現2.5s/cycle成膜

科民ALD實現2.5s/cycle成膜

  • 分類：公司新聞
  • 發(fā)布時間：2020-06-01
  • 訪問量：0

【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

科民ALD實現2.5s/cycle成膜

【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

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　　科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s

 

 

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